本发明提供一种用于在基底的表面上形成具有高成膜效率和良好再现性和稳定性的有机聚合物薄膜的技术。当在基底(12)的表面上反复进行用于形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合时,将在真空状态的多个蒸发源容器(32a、32b)中蒸发的多种单体引入到真空状态的沉积室(10)中并使其聚合在沉积室(10)中布置的基底(12)的表面上,每次在单体的蒸发操作开始时,液态形式的每种单体以恒定的量存在于蒸发源容器(32a、32b)中。
1.一种形成有机聚合物薄膜的方法,包括以下步骤:使多种单体在真空状态的多个蒸发源容器中进行蒸发操作;和将蒸发的所述多种单体引入到真空状态的沉积室中,以使其聚合在沉积室中布置的至少一个基底的表面上,由此进行真空沉积聚合,所述真空沉积聚合是在所述至少一个基底的所述表面上形成有机聚合物薄膜的操作,其中,在所述多种单体的蒸发操作中,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中,其中,所述多个蒸发源容器和所述沉积室通过控制阀连接,所述控制阀打开和关闭,使得所述多个蒸发源容器的内部压力被控制成高于所述沉积室的内部压力,其中,闸阀(34a,34b)分别设置在所述多个蒸发源容器中,并且在所述闸阀(34a,34b)关闭时所述多个蒸发源容器填充多种单体,对所述多个蒸发源容器进行加热,使得在所述闸阀(34a,34b)打开并且所述控制阀(28a,28b)关闭时,多种单体蒸发。
2.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述至少一个基底包括多个基底,并且反复进行所述真空沉积聚合以在依次布置在沉积室中的多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜,并且在反复的真空沉积聚合中,每次所述多种单体的蒸发操作开始时,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。
3.根据权利要求2所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在反复的真空沉积聚合中,每次在所述蒸发操作开始前向所述多个蒸发源容器的每一个供应需要量的液态形式的所述多种单体的每一种,由此允许所述多种单体的蒸发操作开始时所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。
4.根据权利要求2所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在反复的真空沉积聚合中,每次从所述多种单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束,始终允许每种单体以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器的每一个中。
5.根据权利要求4所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,每次从所述多种单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束,间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种,供应的量与由于蒸发而减少的量相等,由此允许液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。
6.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在从布置于沉积室中的基底卷上展开基底的同时,通过执行真空沉积聚合在所述至少一个基底的表面上连续形成有机聚合物薄膜,并且从所述真空沉积聚合开始到结束,液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。
7.根据权利要求6所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,从所述真空沉积聚合开始到结束,间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种,供应的量与由于蒸发而减少的量相等,由此允许液态形式的所述多种单体均以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。
8.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述多种单体是脂肪族二异氰酸酯和脂肪族二胺。
9.根据权利要求1所述的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述有机聚合物薄膜为脂肪族聚脲膜、脂肪族聚酰胺膜、聚酯膜以及聚氨酯膜中的任意一种。
10.一种用于形成有机聚合物薄膜的设备,包括:沉积室,其中设置有至少一个基底;以及容纳多种单体的多个蒸发源容器,所述多个蒸发源容器被设置为在其内部为真空状态时使所述多种单体蒸发,从而向真空状态的沉积室引入蒸发的单体,所述设备被设置成使在所述多个蒸发源容器中蒸发的所述多种单体聚合在沉积室中布置的所述至少一个基底的表面上,由此进行在所述至少一个基底的表面上形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合,其中,设置用于向所述多个蒸发源容器供应液态形式的所述多种单体的多个供应机构,由此允许在所述单体的蒸发操作中,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中,其中,所述多个蒸发源容器和所述沉积室通过控制阀连接,所述控制阀打开和关闭,使得所述多个蒸发源容器的内部压力被控制成高于所述沉积室的内部压力,其中,闸阀(34a,34b)分别设置在所述多个蒸发源容器中,并且所述控制阀(28a,28b)分别设置在连接所述多个蒸发源容器和所述沉积室的单体入口管(26a,26b)中。
11.根据权利要求10所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述至少一个基底包括多个基底,并且所述沉积室被设置为依次容纳所述多个基底的每一个,以通过反复进行所述真空沉积聚合在沉积室中布置的所述多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜,并且在反复的真空沉积聚合中,所述多个供应机构被设置成允许每次所述真空沉积聚合开始时,所述多种单体均以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。
12.根据权利要求11所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个供应机构均包括:存储箱,其压力高于大气压力并且容纳液态形式的所述多种单体中的一种;连通通路,其将所述存储箱与所述蒸发源容器连通;以及第一打开/关闭机构,其设置在所述连通通路上,通过在所述蒸发源容器处于真空状态时打开所述第一打开/关闭机构,基于所述蒸发源容器中的压力与大气压力之间的差,容纳在所述存储箱中的单体通过所述连通通路被自动抽吸到所述蒸发源容器中,抽吸量等于一次真空沉积聚合操作中使用的量。
13.根据权利要求10所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述沉积室被设置成容纳基底卷,通过在从所述基底卷展开所述基底时进行所述真空沉积聚合,由此在从布置于所述沉积室中的所述基底卷上展开的基底的表面上连续形成有机聚合物薄膜,并且所述多个供应机构被设置成允许从所述真空沉积聚合开始到结束,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。
14.根据权利要求10所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个蒸发源容器均包括:液体存储室,该液体存储室被设置成容纳液态形式的所述多种单体中的一种并使该单体在其中蒸发;以及蒸汽存储室,该蒸汽存储室被设置成容纳在所述液体存储室中蒸发的单体并通过第二打开/关闭机构连接到所述液体存储室。
15.根据权利要求14所述的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个蒸发源容器中的每一个的蒸汽存储室和所述沉积室通过控制阀连接,打开和关闭所述控制阀使得所述沉积室中的压力变为预定值,通过打开所述控制阀将在所述蒸发源容器中蒸发的单体引入所述沉积室中。本申请基于2009年10月15日提交的日本专利申请No.2009-238179,该日本专利申请的内容通过引用结合在此。技术领域
本发明涉及形成有机聚合物薄膜的方法及用于形成该有机聚合物薄膜的设备。更具体地,本发明涉及通过真空沉积聚合在基底表面上有利地形成有机聚合物薄膜的方法以及有效地执行形成有机聚合物薄膜的这种方法的设备。
背景技术
传统上,真空沉积聚合是已知的形成有机聚合物薄膜(合成树脂薄膜)的一种方法。在这种聚合中,多种单体(原料)在真空中蒸发并聚合在基底的表面上,由此在该基底表面上形成有机聚合物薄膜(例如参见JP-A-61-78463)。在上述通过真空沉积聚合形成有机聚合物薄膜的方法中,通常使用用于该方法的专用设备。该用于形成有机聚合物薄膜的设备一般包括沉积室以及多个蒸发源容器,沉积室中设置基底。每个蒸发源容器容纳不同种类的单体并通过使单体在真空压力下蒸发而将单体引入沉积室中。在该设备中,在各个蒸发源容器中蒸发后引入到真空状态的沉积室中的单体聚合在设置于沉积室中的基底表面上。因此,能够在基底的表面上形成由单体的聚合物形成的有机聚合物薄膜。作为用于形成有机聚合物薄膜的传统设备,已知一种分批式设备,其中,在相同的沉积室中反复操作上面的真空沉积聚合,由此在一个接一个设置在沉积室中的多个基底表面上形成有机聚合物薄膜。此外,已知一种连续式设备,其中,在从设置于沉积室中的基底卷上展开基底的同时连续地操作真空沉积聚合,由此在从所述卷展开的基底表面上形成有机聚合物薄膜。当在基底表面上形成由高反应性(用于反应的反应能量小)单体结合形成的有机聚合物薄膜,例如聚酰亚胺膜、芳香族聚脲膜或者芳香族聚酰胺膜时,仅仅通过打开和关闭活门,基底表面上的单体比例就可以是化学计量比,活门传统上用于真空沉积并设置在每个蒸发源容器和沉积室中的基底之间。因此,形成在基底表面上的有机聚合物薄膜可具有希望的成分,并且可以容易地控制膜的厚度。结果,当使用高反应性单体进行结合时,在通过使用分批式设备反复操作的真空沉积聚合中和通过使用连续式设备连续操作的真空沉积聚合中,都始终能够在基底表面上稳定地形成具有恒定成分和厚度的有机聚合物薄膜。另一方面,在形成由低反应性(用于反应的反应能量大)单体结合形成的有机聚合物薄膜,例如脂肪族聚脲膜、脂族聚酰胺膜、聚酯膜或者聚亚安酯膜时,基底表面上的单体比例不能仅仅通过打开和关闭活门而轻易地为化学计量比。因此,很难控制通过低反应性单体结合获得的有机聚合物薄膜的成分和厚度。因此,在通过使用分批式设备反复操作的真空沉积聚合和通过使用连续式设备连续操作的真空沉积聚合中,要在基底表面上形成具有良好再现性或者重复性的有机聚合物薄膜是极其困难的。在这种情况下,JP-A-5-171415公开了一种用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,布置在沉积室中的每个蒸发源容器包括真空排气装置和位于蒸发源容器的开口部分的打开/关闭装置。JP-A-5-171415还公开了通过使用该设备,可以单独控制从每个蒸发源容器释放的蒸发单体的量,并且可以使打开/关闭装置关闭时刻每个蒸发源容器中的真空度与成膜过程(沉积,由此以良好的再现性和稳定性执行成膜)中的真空度相等。然而,在该设备中,蒸发源容器中的压力和沉积室中的压力没有差别。因此,不可避免地,每种单体的蒸发量会很小,且成膜速度(每单位时间的成膜量)也降低了,这造成了成膜效率降低的问题。此外,JP-A-7-26023公开了一种适于使载运气体通过各个蒸发源容器并将包括蒸发单体的载运气体引入沉积室中的设备。JP-A-7-26023还公开了,通过调节载运气体的流速,可以高度精确地控制引入到沉积室中的每种单体的量,使得可以向沉积室中引入每种单体以实现化学计量比。然而,在这种设备中,单体随载运气体被引入沉积室,从而与仅单体被引入沉积室的情况相比,不可避免地,沉积室中的单体量更少了。结果,在这种设备中,诸如成膜效率降低等的缺陷不可避免。此外,JP-A-2002-275619公开了一种每个蒸发源容器中包括脉冲阀的设备,脉冲阀可以在任意时间间隔打开和关闭。JP-A-2002-275619还公开了,通过使用该设备,可以适当地确定每种单体向沉积室的引入时间,使得可以单独控制向沉积室中引入的每种单体的量。然而,在这种设备中,每个蒸发源容器中单体量的降低改变了每单位时间单体的蒸发量,因此应当根据单体的蒸发量的改变来改变打开/关闭装置的打开/关闭循环。另外,控制条件的改变极大地影响通过低反应性单体结合获得的有机聚合物薄膜的厚度和质量再现性,从而,在这种传统设备中,很难总是以良好再现性获得具有恒定成分和厚度的有机聚合物薄膜。
发明内容
本发明是根据上面所述的情况做出的,本发明的一个目的是提供一种形成有机聚合物薄膜的方法,不论单体的结合性如何,该方法都具有高成膜效率并以良好再现性和稳定性形成具有恒定成分和厚度的相同品质的有机聚合物薄膜。本发明的另一目的是提供一种有利地执行上述方法的用于形成有机聚合物薄膜的设备。为了达到前述目的,或者解决从本说明书和附图的描述理解的问题,本发明优选以下面描述的各个方面体现。可以以任何组合采用下面描述的每个方面。应当理解,本发明的方面和技术特征并不局限于下面描述的这些,而是可根据整个说明书和附图公开的发明构思加以认识。(1)一种形成有机聚合物薄膜的方法,包括步骤:使多种单体在真空状态的多个蒸发源容器中进行蒸发操作;将蒸发的所述多种单体引入到真空状态的沉积室中,以使其聚合在沉积室中布置的至少一个基底的表面上,由此进行真空沉积聚合,所述真空沉积聚合是在所述至少一个基底的所述表面上形成有机聚合物薄膜的操作,其中,在所述单体的蒸发操作中,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在在所述多个蒸发源容器中。(2)根据上述第(1)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述至少一个基底包括多个基底,并且反复进行所述真空沉积聚合以在依次布置在沉积室中的多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜,并且在反复的真空沉积聚合中,每次所述单体的蒸发操作开始时,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在在所述多个蒸发源容器中。(3)根据上述第(2)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在反复的真空沉积聚合中,每次在所述蒸发操作开始前向所述多个蒸发源容器的每一个供应需要量的液态形式的所述多种单体的每一种,由此允许所述单体的蒸发操作开始时所述多种单体均以恒定量的液态形式存在在所述多个蒸发源容器中。(4)根据上述第(2)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在反复的真空沉积聚合中,每次从所述单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束,始终允许每种单体以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器的每一个中。(5)根据上述第(4)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,每次从所述单体的蒸发操作开始起至所述有机聚合物薄膜在所述多个基底的表面上的形成操作结束,间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种,供应的量与由于蒸发而减少的量相等,由此允许液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在在所述多个蒸发源容器中。(6)根据上述第(1)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,在从布置于沉积室中的基底卷上展开基底的同时,通过执行真空沉积聚合在所述至少一个基底的表面上连续形成有机聚合物薄膜,并且从所述真空沉积聚合开始到结束,液态形式的所述多种单体始终以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。(7)根据上述第(6)方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,从所述真空沉积聚合开始到结束,间歇地或连续地向所述多个蒸发源容器的每一个中供应液态形式的所述多种单体中的每一种,供应的量与由于蒸发而减少的量相等,由此允许液态形式的所述多种单体均以恒定的量存在于所述多个蒸发源容器中。(8)根据上述第(1)至(7)任一方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述多种单体是脂肪族二异氰酸酯和脂肪族二胺。(9)根据上述第(1)至(7)任一方面的形成有机聚合物薄膜的方法,其中,所述有机聚合物薄膜为脂肪族聚脲膜、脂肪族聚酰胺膜、聚酯膜以及聚氨酯膜中的任意一种。(10)一种用于形成有机聚合物薄膜的设备,包括:沉积室,其中设置有至少一个基底;以及容纳多种单体的多个蒸发源容器,所述多个蒸发源容器被设置为在其内部为真空状态时使所述多种单体蒸发,从而向真空状态的沉积室引入蒸发的单体,所述设备被设置成使在所述多个蒸发源容器中蒸发的所述多种单体聚合在沉积室中布置的所述至少一个基底的表面上,由此进行在所述至少一个基底的表面上形成有机聚合物薄膜的真空沉积聚合,其中,设置用于向所述多个蒸发源容器供应液态形式的所述多种单体的多个供应机构,由此允许在所述单体的蒸发操作中,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在在所述多个蒸发源容器中。(11)根据上述第(10)方面的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述至少一个基底包括多个基底,并且所述沉积室被设置为依次容纳所述多个基底的每一个,以通过反复进行所述真空沉积聚合在沉积室中布置的所述多个基底的每一个的表面上形成有机聚合物薄膜,并且在反复的真空沉积聚合中,所述多个供应机构被设置成允许每次所述真空沉积聚合开始时,所述多种单体均以恒定量存在于所述多个蒸发源容器中。(12)根据上述第(11)方面的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个供应机构均包括:存储箱,其压力高于大气压力并且容纳液态形式的所述多种单体中的一种;连通通路,其将所述存储箱与所述蒸发源容器连通;以及第一打开/关闭机构,其设置在所述连通通路上,通过在所述蒸发源容器处于真空状态时打开所述第一打开/关闭机构,基于所述蒸发源容器中的压力与大气压力之间的差,容纳在所述存储箱中的单体通过所述连通通路被自动抽吸到所述蒸发源容器中,抽吸量等于一次真空沉积聚合操作中使用的量。(13)根据上述第(10)方面的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述沉积室被设置成容纳基底卷,通过在从所述基底卷展开所述基底时进行所述真空沉积聚合,由此在从布置于所述沉积室中的所述基底卷上展开的基底的表面上连续形成有机聚合物薄膜,并且所述多个供应机构被设置成允许从所述真空沉积聚合开始到结束,所述多种单体均以恒定量的液态形式存在于所述多个蒸发源容器中。(14)根据上述第(10)到(13)任一方面的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个蒸发源容器均包括:液体存储室,该液体存储室被设置成容纳液态形式的所述多种单体中的一种并使该单体在其中蒸发;以及蒸汽存储室,该蒸汽存储器被设置成容纳在所述液体存储室中蒸发的单体并通过第二打开/关闭机构连接到所述液体存储室。(15)根据上述第(14)方面的用于形成有机聚合物薄膜的设备,其中,所述多个蒸发源容器中的每一个的蒸汽存储室和所述沉积室通过控制阀连接,打开和关闭所述控制阀使得所述沉积室中的压力变为预定值,通过打开所述控制阀将在所述蒸发源容器中蒸发的单体引入所述沉积室中。在根据本发明的形成有机聚合物薄膜的方法中,当反复进行真空沉积聚合时,每次在单体或原料的蒸发操作开始时,蒸发源容器中的液态形式的单体或原料的量相同。因此,在反复的真空沉积聚合中,不需要进行特殊控制,一次操作中每种单体的蒸发量始终相同。此外,在根据本发明的形成有机聚合物薄膜的方法中,当连续进行真空蒸发沉积过程时,蒸发源容器中液态形式的单体的量从真空沉积聚合开始到结束是恒定的。因此,在该连续真空沉积聚合中,也不需要进行特殊控制,成膜过程中每单位时间每种单体的蒸发量始终相同。因此,在本发明的方法中,引入到沉积室中的蒸发单体的量能够始终被控制为在恒定条件下。因此,例如,即使在结合中使用了在基底表面上具有不同保持时间的低反应性单体,也可以以需要的量将该单体规则且稳定地引入到沉积室中。因此,基底表面上的原料(单体)比可容易且确定地是化学计量比。结果,不论使用的单体的种类(结合),在反复真空沉积聚合和连续真空沉积聚合中都可有利地形成具有期望成分和恒定厚度的有机聚合物薄膜。在本方法中,没有采用载运气体或类似气体来向沉积室引入预定量的单体,也没有使蒸发源容器和沉积室之间的压力差很小。因此,可极其有效地向沉积室引入预定量的单体。因此,根据本发明的形成有机聚合物薄膜的方法有利地具有高成膜效率。此外,不论单体的种类,可始终以良好的再现性在基底的表面上稳定地形成具有预定成分和厚度的相同品质的有机聚合物薄膜。另外,根据本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备可有利地执行上述的方法。因此,根据本发明的设备也能够有利地获得与根据本发明的形成有机聚合物薄膜的方法所获得的相同的优点和效果。
附图说明
通过结合附图阅读以下对本发明优选实施方式的详细描述,将更好地理解本发明的上述和其他目的、特征、优点和技术上及产业上的意义,其中:图1是显示具有根据本发明结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备的一个举例的说明图;图2是显示通过使用图1中所示的设备在基底的表面上形成有机聚合物薄膜的一个步骤的说明图,其中,蒸发源容器处于真空状态;图3是显示接着图2中所示步骤的步骤说明图,其中,单体被加热并在蒸发源容器中蒸发;图4是显示接着图3中所示步骤的步骤说明图,其中,将预定量的蒸发单体从蒸发源容器引入到沉积室中;图5是显示接着图4所示步骤的一个成膜操作后蒸发源容器的状态的说明图;图6是显示接着图5所示步骤的步骤说明图,其中,在进行一次成膜操作后,将液态形式的单体从单体存储箱供应至蒸发源容器;图7是显示接着图6所示步骤的步骤说明图,其中,利用单体填充蒸发源容器;图8是显示接着图7所示步骤的步骤说明图,其中,向单体存储箱供应液态形式的单体;图9是显示具有根据本发明结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备的另一例子的说明图;图10是显示具有根据本发明结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备的又一例子的说明图;图11是显示具有根据本发明结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备的再一例子的说明图;图12是通过反复进行根据本发明的成膜操作在多个基底的表面上形成有机聚合物薄膜时单体入口侧压力随时间变化的曲线,其中,示出了预定次反复成膜操作时的变化;图13是显示通过根据传统发明且进行预定压力控制的反复成膜操作在多个基底的表面上形成有机聚合物薄膜时单体入口侧压力随时间变化的曲线,示出了预定次反复成膜操作时的变化;图14是显示通过根据传统发明但不进行压力控制的反复成膜操作在多个基底的表面上形成有机聚合物薄膜时单体入口侧压力随时间变化的曲线,示出了预定次反复成膜操作时的变化;以及图15是显示多个基底的表面上形成的有机聚合物薄膜的每一个的红外吸收光谱的曲线,所述有机聚合物薄膜是在不进行压力控制的情况下根据传统方法反复进行成膜操作而获得的。
具体实施方式
为了进一步阐述本发明,参照附图对本发明的典型实施方式进行描述。最初,图1示意性显示了具有根据本发明的结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备的一个例子。如从图1清楚可知的,根据本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备包括沉积室10。与传统的设备相似,该沉积室10由气密封的压力密封容器构成并具有可由盖(未示出)盖住的开口(未示出)。板形状的基底12通过此开口放入到沉积室10中或者从沉积室10取出。即,多个基底12可一个接一个取出和放入沉积室10中,以依次布置在沉积室10中。沉积室10包括检测沉积室10的内部压力的沉积室压力传感器14。此外,排气管16连接到沉积室10的侧壁。排气管16在其一端连接到电真空泵18,且在其中间部分设有用于沉积室10的压力控制阀20。沉积室压力传感器14、真空泵18和压力控制阀20都电连接到控制器(未示出)。然后,通过在打开压力控制阀20的同时操作真空泵18使其中设置有基底12的沉积室10处于真空状态或者处于降低的压力。此时,压力控制阀20在控制器的控制下打开和关闭,使得沉积室压力传感器14检测的值变为预先设定值(目标值)。因此,沉积室10的内部压力(真空度)得到了控制。此外,捕集装置22设置在位于排气管16上的压力控制阀20和真空泵18之间。该捕集装置22具有传统的结构并且能够捕集例如沉积室10中的空气里的湿气、通过真空沉积聚合进行的成膜操作(稍后详细描述)中产生的湿气、以及成膜操作中剩下的多余原料(单体)。此外,将具有小容量的混合室23设置成在沉积室10的与连接到排气管16一侧相反的一侧与沉积室10连通。在混合室23中,与设置在沉积室10中的基底12相对地设置两个扩散板24、24,并且两者间留有预定距离。两个单体入口管26a、26b连接至混合室23。单体入口管26a、26b被布置成朝着两个扩散板24、24的与设置在沉积室23中的基底12不相对的表面开放。在单体入口管26a、26b延伸方向上的中间部分,分别设置单体入口侧压力控制阀28a、28b。此外,用于检测单体入口管26a、26b的部分中的各个内部压力的入口侧压力传感器30a、30b均设置在单体入口管26a、26b的比每个单体入口侧压力控制阀28a、28b更加靠近与沉积室10的连接位置的部分处。单体入口侧压力控制阀28a、28b和入口侧压力传感器30a、30b电连接到控制器(未示出)。在单体入口管26a、26b的端部,分别连接第一蒸发源容器32a和第二蒸发源容器32b。第一和第二蒸发源容器32a、32b具有相同的结构。具体地,第一和第二蒸发源容器32a、32b都由气密封并在竖直方向上延伸的耐压容器构成。此外,在第一和第二蒸发源容器32a、32b的外周,分别设置用于加热第一和第二蒸发源容器32a、32b内部空间的加热器33a、33b。在第一和第二蒸发源容器32a、32b竖直方向上的中间部分处,分别设置闸阀34a、34b作为第二打开/关闭机构,由此将第一和第二蒸发源容器32a、32b的每一个划分为上部部分和下部部分。这样,通过打开闸阀34a、34b,上部部分和下部部分可以彼此连通,通过关闭闸阀34a、34b,上部部分和下部部分可以断开连接从而彼此不连通。这里,第一蒸发源容器32a的下部部分形成为用于液态单体的第一液体存储室36a,其容纳为液态形式单体的第一液态单体35a,并且,第一蒸发源容器32a的上部部分形成为用于单体蒸汽的第一蒸汽存储室38a,其容纳第一单体蒸汽37a,第一单体蒸汽37a是蒸发的第一液态单体35a(见图3)。此外,与第一蒸发源容器32a相似,第二蒸发源容器32b的下部部分形成为用于液态单体的第二液体存储室36b,其容纳第二液态单体35b,第二液态单体是液态形式且与第一蒸发源容器32a中容纳的单体是不同的单体。此外,第二蒸发源容器32b的上部部分形成为用于单体蒸汽的第二蒸汽存储室38b,其容纳第二单体蒸汽37b,第二单体蒸汽37b是蒸发的第二液态单体35b。第一和第二液体存储室36a、36b以及第一和第二蒸汽存储室38a、38b均具有这样的容积,即能够至少容纳足以通过一次真空沉积聚合(稍后对此进行描述)在基底12的表面上形成有机聚合物薄膜所需量的第一和第二液态单体35a、35b以及第一和第二单体蒸汽37a、37b中的每一种。室36a、36b、38a、38b的容积上限没有限制。优选地,第一和第二液体存储室36a、36b以及第一和第二蒸汽存储室38a、38b均具有这样的容积,该容积能够容纳可以进行少于等于50次真空沉积聚合的量的第一和第二液态单体35a、35b以及第一和第二单体蒸汽37a、37b。如果每个室36a、36b、38a、38b的容积比上面的大,则一次应当加热大量的单体(第一和第二液态单体35a、35b以及第一和第二单体蒸汽37a、37b)。因此,加热器33a、33b对单体的加热效率会严重降低,稍后对此进行描述。单体入口管26a、26b分别连接到第一蒸发源容器32a的第一蒸汽存储室38a和第二蒸发源容器32b的第二蒸汽存储室38b。此外,第一和第二蒸汽存储室38a、38b分别设有单体蒸汽压力传感器40a、40b。单体蒸汽压力传感器40a、40b和加热器33a、33b连接到控制器(未示出)。在根据本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,通过在真空泵18工作时打开单体入口侧压力控制阀28a、28b,第一和第二蒸发源容器32a、32b以及沉积室10与混合室23内部均形成真空状态或者处于降低的压力。此外,通过加热器33a、33b加热内部为真空状态的第一和第二蒸发源容器32a、32b,同时打开闸阀34a、34b,使得种类不同且容纳在第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二液体存储室36a、36b中的第一和第二液态单体35a、35b蒸发。然后,蒸发的第一和第二液态单体35a、35b分别被引入第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二蒸汽存储室38a、38b并容纳在其中作为第一和第二单体蒸汽37a、37b。第一和第二液态单体35a、35b的这种蒸发操作是在单体入口管26a、26b上设置的单体入口侧压力控制阀28a、28b关闭时进行的。此时,加热器33a、33b的加热温度由控制器(未示出)根据例如热电偶的热传感器(未示出)检测的值加以控制,使得待通过单体蒸汽压力传感器40a、40b检测的第一和第二蒸汽存储室38a、38b的内部压力达到预定值。然后,在第一和第二蒸汽存储室38a、38b的内部压力被控制为预定值的条件下,在控制器(未示出)的控制下打开和关闭单体入口侧压力控制阀28a、28b,使得由入口侧压力传感器30a、30b检测的值达到预定值。结果,第一和第二单体蒸汽37a、37b通过单体入口管26a、26b从第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二蒸汽存储室38a、38b引入到混合室23和沉积室10中。本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备包括用于第一和第二蒸发源容器32a、32b的每一个的单体供应机构42、42。每个单体供应机构42、42将液态形式的单体供应到第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二液体存储室36a、36b的每一个中并具有传统设备不具备的特殊结构。具体地,单体供应机构42包括容纳第一液态单体35a或第二液态单体35b的存储箱44以及作为连通通路的抽吸管45,抽吸管45对容纳在存储箱44中的第一液态单体35a或第二液态单体35b进行抽吸。单体供应机构42的存储箱44由气密封的箱构成。单体供应管46和惰性气体供应管48连接到存储箱的上壁。在单体供应管46的中间设置用于单体供应的阀50,在惰性气体供应管48的中间设置用于存储箱的气体压力控制阀52。此外,单体供应管46的端部连接到单体喷料斗54,并且惰性气体供应管48的端部连接到惰性气体罐56,惰性气体罐填充诸如氦气、氖气、氩气或氮气等惰性气体。在单体供应机构42中,当向单体喷料斗54中供应第一液态单体35a或第二液态单体35b时,通过打开用于单体供应的设置在单体供应管46上的阀50,第一液态单体35a或第二液态单体35b通过单体供应管46供应至存储箱44并容纳在其中(见图8)。此外,通过打开设置在惰性气体供应管48上的气体压力控制阀52,存储箱44内部的空间被惰性气体填充。因此,防止了第一液态单体35a或第二液态单体35b与空气中的氧气或湿气反应,与空气中的氧气或湿气接触而恶化,或者发生自聚合。气体压力控制阀52连接到控制器(未示出),由设置在惰性气体供应管48上的存储箱压力传感器58检测的存储箱44的内部压力通过使用控制器打开和关闭气体压力控制阀52而被控制为始终是预定值(这里,预定值大于大气压力)。抽吸管45在竖直方向上延伸通过存储箱44的上壁。抽吸管45的顶端连接到第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二液体存储室36a、36b。抽吸管45下端处的开口部分在靠近存储箱44底壁的内表面处打开,而抽吸管45的上端处的开口部分与第一或第二蒸发源容器32a、32b的第一或第二液体存储室36a、36b连通。此外,在抽吸管45位于存储箱44外侧的中间处设置用于单体抽吸的阀60作为第一打开/关闭机构。当第一和第二蒸发源容器32a、32b处于真空状态或者降低的压力下时,通过打开用于单体抽吸的阀60,容纳在内部压力高于大气压力的各个存储箱44中的第一和第二液态单体35a、35b,基于存储箱44与第一和第二蒸发源容器32a、32b之间的内部压力差,通过抽吸管46被抽吸到第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二液体存储室36a、36b。当在依次设置于沉积室10中的多个基底12表面上形成有机聚合物薄膜时,通过使用本实施方式的具有上述结构的设备,可根据以下方法形成有机聚合物薄膜。具体地,如图1所示,在有机聚合物薄膜的形成操作开始之前,将基底12设置在沉积室10中。同时,使第一蒸发源容器32a的第一液体存储室36a填充第一液态单体35a,第二蒸发源容器32b的第二液体存储室36b填充第二液态单体35b。第一和第二液体存储室36a、36b例如通过如下方式填充第一和第二液态单体35a、35b,即在第一和第二液体存储室36a、36b处于真空状态时,通过打开阀60、60,同时关闭第一和第二蒸发源容器32a、32b中的闸阀34a、34b,从而通过抽吸管45从与第一和第二液体存储室36a、36b连通的存储箱44、44抽吸第一和第二液态单体35a、35b。在第一和第二液体存储室36a、36b填充第一和第二液态单体35a、35b之前,使待容纳第一和第二液态单体35a、35b的存储箱44由容纳在惰性气体罐56中的惰性气体62填充(见图2)。优选地,使填充有惰性气体62的存储箱44中的每一个的内部压力(存储箱压力传感器58的检测值)高于大气压力。这样,第一和第二液体存储室36a、36b可在更短的时间内顺利地填充第一和第二液态单体35a、35b。这里使用的第一和第二液态单体35a、35可根据基底12表面上待形成的有机聚合物薄膜的种类合适地确定。例如,当形成聚酰亚胺膜时,使用二胺和羧酸酐作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成芳香族聚脲膜时,使用芳香二胺和芳香二异氰酸酯作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成芳香族聚酰胺膜时使用芳香二胺和芳香族二元酸作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成脂肪族聚脲膜时使用脂肪族(包括脂环)二胺和脂肪族(包括脂环)二异氰酸酯作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成脂肪族聚酰胺膜时使用脂肪族(包括脂环)二胺和脂肪族(包括脂环)二元酸作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成聚酯膜时使用二醇和二元酸作为第一和第二液态单体35a、35b,当形成聚亚安酯膜时使用多元醇和聚异氰酸酯作为第一和第二液态单体35a、35b。如图2所示,在开始有机聚合物薄膜的形成操作之前,打开设置在单体入口管26a上的单体入口侧压力控制阀28a。同时,尽管图中没有显示出,但设置在单体入口管26b上的单体入口侧压力控制阀28b也被打开。在这种状态下,通过操作真空泵18,在沉积室10、混合室23、单体入口管26a、26b、第一蒸发源容器32a(用于单体蒸汽的第一存储室38a)、第二蒸发源容器32b(用于单体蒸汽的第二存储室38b)的内部均形成真空状态(降低压力的状态)。通常,将沉积室压力传感器14检测的沉积室10内的压力控制为处于大约0.001-100Pa的范围。之后,如图3所示,在关闭单体入口侧压力控制阀28a的同时打开闸阀34a。相应地,第一蒸发源容器32a气密封,第一液体存储室36a和第一蒸汽存储室38a彼此连通。然后,在这种状态下,通过利用加热器33a对第一蒸发源容器32a进行加热,第一液体存储室36a中的第一液态单体35a蒸发。结果,生成第一单体蒸汽37a并允许其容纳在第一蒸汽存储室38a中。此时,通过控制加热器33a的温度控制第一蒸汽存储室38a中的蒸汽压力,使得单体蒸汽压力传感器40a检测的值为预定值。另外,尽管图中没有显示出,但在第二液体存储室36b中,第二液态单体35b如上所述地蒸发并允许第二单体蒸汽37b容纳在第二蒸汽存储室38b中。然后,当单体蒸汽压力传感器40a检测的值达到预定值时,在控制器(未示出)的控制下如图4所示地打开单体入口侧压力控制阀28a。相应地,第一蒸汽存储室38a中的第一单体蒸汽37a通过单体入口管26a引入到混合室23中并进一步引入到沉积室10中。此时,通过控制器(未示出)打开或关闭单体入口侧压力控制阀28a,使得设置在单体入口管26a上的入口侧压力传感器30a检测的值被控制为低于单体蒸汽压力传感器40a检测的值但高于沉积室压力传感器14检测的值。尽管图中没有示出,还通过控制器(未示出)打开或关闭单体入口侧压力控制阀28b,使得设置在单体入口管26b上的入口侧压力传感器30b检测的值被控制为低于单体蒸汽压力传感器40b检测的值但高于沉积室压力传感器14检测的值。相应地,第二蒸汽存储室38b中的第二单体蒸汽37b通过单体入口管26b引入到混合室23中并进一步引入到沉积室10中。然后,在被引入到混合室23中的第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b通过两个扩散板24、24扩散后,它们被引入到沉积室10中并被引导到基底12的表面。第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b在基底12的表面上聚合以生成聚合物。因此,通过真空沉积聚合在基底12的表面上形成由聚合物形成的有机聚合物薄膜。优选地,沉积室压力传感器14检测的沉积室10中的压力高于第一液态单体35a和第二液态单体35b蒸发前的压力,即高于成膜操作前的压力。通过如上设定压力,可以最大限度地防止引入到沉积室10中的第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b经过沉积室10并被捕集在捕集装置22中而不聚合在基底12的表面上。因此,可以更有利和有效地利用引入到沉积室10中的第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b。结果,可以在基底12的表面上有效地形成有机聚合物薄膜,由此有利地增加了每单位时间形成的有机聚合物薄膜的量。在通过真空沉积聚合形成有机聚合物薄膜时,在向沉积室10引入第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b时刻,入口侧压力传感器30a、30b的每一个的目标值被设定为使得第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b在沉积室10中设置的基底12表面上呈现化学计量比。该目标值在初步试验结果的基础上或者在经验的基础上预先确定。此外,在膜的形成中,优选的是,例如通过加热器对沉积室10和单体入口管26a、26b的内部进行加热,使得由设置在第一和第二蒸发源容器32a、32b上的单体蒸汽压力传感器40a、40b检测的值为预定值。此外,优选地,每个存储箱44被加热到具有高于其中容纳的第一和第二单体35a、35b的熔点但低于其沸点的温度。此外,优选地,沉积室10中的基底12及捕集装置22被冷却至预定温度。接着,在第一和第二液体存储室36a、36b中的第一和第二单体35a、35b开始蒸发操作后预定时间,如图5所示,关闭单体入口侧压力控制阀28a和蒸发源容器32a中的闸阀34a。同时,尽管图中没有示出,但单体入口侧压力控制阀28b和蒸发源容器32b中的闸阀34b也被关闭。这样,结束在基底12的表面上形成有机聚合物薄膜。然后,在将上面形成了有机聚合物薄膜的基底12从沉积室10移除后,将待形成有机聚合物薄膜的另一基底12布置在沉积室10中。同时,如图6所示,将设置在抽吸管45上用于单体抽吸的连通在第一液体存储室36a和存储箱44之间的阀60打开,同时关闭单体入口侧压力控制阀28a和蒸发源容器32a中的闸阀34a。此时,蒸发源容器32a中的第一液体存储室36a处于降低的压力状态,且存储箱44中的压力高于大气压力。由于该压力差,存储箱44中的第一液态单体35a通过抽吸管45被自动抽吸到第一液体存储室36a。然后,如图7所示,当第一液体存储室36a填充了第一液态单体35a时,关闭阀60。此外,尽管图中没有示出,打开设置在抽吸管45上用于单体抽吸的连通在第二液体存储室36b和存储箱44之间的阀60。通过此打开,存储箱44中的第二液态单体35b通过抽吸管45被自动抽吸到第二液体存储室36b,由此利用第二液态单体35b填充第二液体存储室36b。然后,关闭阀60。如上所述,第一液体存储室36a和第二液体存储室36b分别填充第一液态单体35a和第二液态单体35b,如同上一次成膜操作前的状态。因此,与先前的成膜中使用的量相等的第一液态单体35a被供应至第一液体存储室36a,使得与先前成膜开始前容纳的量相同的第一液态单体35a容纳在第一液体存储室36a中。同时,与先前成膜中使用的量相等的第二液态单体35b被供应至第二液体存储室36b,使得与先前成膜开始前容纳的量相同的第二液态单体35b容纳在第二液体存储室36b中。换句话说,第一蒸发源容器32a中的状态再次变为图2所示的状态,并且第二蒸发源容器32b中的状态变为与图2中的类似。随后,与上面相似,通过执行图2至图5所示的步骤,在新布置在沉积室10中的基底12的表面上形成有机聚合物薄膜。然后,如图6和图7所示,使第一和第二液体存储室36a、36b填充第一和第二液态单体35a、35b。通过重复上面的成膜和再填充,在依次布置在沉积室10中的多个基底12的表面上形成有机聚合物薄膜。在以这种分批过程在多个基底12的表面上形成有机聚合物薄膜的过程中,如果与第一蒸发源容器32a连通的存储箱44中容纳的第一液态单体35a的量减少了,则如图8所示向单体喷料斗54供应第一液态单体35a,同时打开用于单体供应的阀50。这样,第一液态单体35a被供应至存储箱44。当与第二蒸发源容器32b连通的存储箱44中容纳的第二液态单体35b的量减少时,进行与上面相同的步骤。上面描述的利用第一和第二液态单体35a、35b对每个存储室44、44的再填充可在任何时间进行,甚至可在成膜过程中进行,只要布置在存储箱44、44中的抽吸管45、45上设置的用于抽吸的阀60、60是关闭的。此外,在本实施方式中,在利用第一和第二液态单体35a、35b再填充每个存储箱44、44的过程中,空气不能混合进存储箱44、44中,因为每个存储箱44、44中的压力被控制为高于大气压力。当供应第一和第二液态单体35a、35b时每个存储箱44、44中的压力由于惰性气体62泄露至外面而降低时,则打开气体压力控制阀52、52,使得立即从各个惰性气体罐56、56向每个存储箱44、44供应惰性气体62。因此,每个存储箱44、44中的内部压力总是保持高于大气压力。此外,优选地,可以在每个单体供应管46、46中设置能够捕获或捕集湿气的过滤装置或类似装置。如上所述,当本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备用来通过真空沉积聚合形成膜时,使第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二液体存储室36a、36b中容纳的第一和第二液态单体35a、35b的量始终与第一和第二液态单体35a、35b的蒸发操作开始时的量相同。因此,在反复的成膜中,根据加热器33a、33b的预定加热温度,第一和第二液态单体35a、35b一次蒸发的量始终相同,而不需要进行特殊的控制。因此,与反复成膜中第一和第二液态单体35a、35b一次蒸发的量不可避免地变化的传统设备不同,本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备能够在稳定条件下控制引入沉积室10中的第一和第二单体蒸汽37a、37b的量不发生改变。因此,即使第一和第二液态单体35a、36b例如具有低反应性,第一和第二液态单体35a、35b也能以需要的量稳定地引入到沉积室10中。相应地,可容易且确定地使基底12表面上的单体比例为化学计量比。另外,在本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,第一和第二蒸发源容器32a、32b的第一和第二蒸汽存储室38a、38b的内部压力最高,其次是单体入口管26a、26b的内部压力,沉积室10的内部压力最低。结果,在成膜操作中,第一和第二单体蒸汽37a、37b可以非常稳定平顺地从第一和第二蒸汽存储室38a、38b引导到沉积室10中。因此,通过使用本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备可以实现高效的成膜。另外,不论第一单体蒸汽37a、37b的反应性如何,都可在依次布置于沉积室10中的基底12的表面上以良好再现性和稳定性形成始终具有预定成分和恒定厚度的同样质量的有机聚合物薄膜。此外,在本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,只通过打开阀60、60,分别容纳在存储箱44、44中的需要量的第一和第二液态单体35a、35b就可基于存储箱44、44与第一和第二液体存储室36a、36b之间的压力差而被自动抽吸到第一和第二液体存储室36a、36b。因此,有利地简化了单体供应机构42、42的结构,并且第一和第二液态单体35a、35b可容易有效地供应至第一和第二液体存储室36a、36b。在第一实施方式中,设置有用于利用惰性气体62填充存储箱44的机构。然而,可以省略该机构。在这种情况下,存储箱44由例如如图9所示的开放容器构成。然后,单体供应管46和其上设置的用于单体供应的阀50、惰性气体供应管48和其上设置的气体压力控制阀52、存储箱压力传感器58、单体喷料斗54和惰性气体罐56都可省略。因此,可以有效地简化单体供应机构42的结构。然后,图10示出了根据本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备的另一例子,其结构部分与第一和第二实施方式的不同。该实施方式和图11中显示的不同于该实施方式的另一实施方式具有结构不同于第一和第二实施方式的第一和第二蒸发源容器和单体供应机构。下面解释这些实施方式的第一和第二蒸发源容器和单体供应机构的结构。与图1中使用的相同的附图标记用于表示结构与这些实施方式相同的构件和部分,并且省略对其的详细解释。具体地,如从图10清楚的,在该实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,第一蒸发源容器64a由在竖直方向上延伸的气密封的容器构成。第一蒸发源容器64a的下部部分形成为用于液态单体的第一液体存储室66a,并且,第一蒸发源容器64a的上部部分形成为用于单体蒸汽的第一蒸汽存储室68a。在第一蒸发源容器64a中,第一液体存储室66a和第一蒸汽存储室68a之间没有设置阀或类似装置。第一液体存储室66a和第一蒸汽存储室68a始终彼此连通。此外,与第一蒸发源容器64a相同,第二蒸发源容器64b包括由其下部部分构成的第二液体存储室66b和由其上部部分构成的第二蒸汽存储室68b。第二液体存储室66b和第二蒸汽存储室68b始终彼此连通。此外,在第一和第二蒸发源容器64a、64b的外周上,设置用于加热相应的热蒸发源容器64a、64b内部空间的加热器70a、70b。然后,在这种实施方式中,向第一和第二蒸发源容器64a、64b的第一和第二液体存储室66a、66b供应第一和第二液态单体35a、35b的单体供应机构72、72均设置有特殊结构。如从图10清楚可见的,向第一液体存储室66a供应第一液态单体35a的单体供应机构72与向第二液体存储室66b供应第二液态单体35b的单体供应机构72具有相同的结构。因此,应当理解,作为两个单体供应机构72的代表,下文仅描述向第一液体存储室66a供应第一液态单体35a的单体供应机构72的结构,省略对向第二液体存储室66b供应第二液态单体35b的单体供应机构72的解释。具体地,向第一液体存储室66a供应第一液态单体35a的单体供应机构72包括其中容纳第一液态单体35a的液压缸74。喷嘴76设置在液压缸74的顶部,通过该喷嘴76,液压缸74与第一液体存储室66a连通。此外,在喷嘴76的延伸方向的中间,设置打开/关闭阀78。此外,液压缸74的活塞杆80连接到液压机构(未示出)。打开/关闭阀78的打开/关闭操作和液压缸74的伸长/缩回操作由控制器(未示出)控制。然后,当打开/关闭阀78通过控制器打开时,通过以恒定速度缩回液压缸74的活塞杆80,容纳在液压缸74内的第一液态单体35a通过喷嘴76以恒定速度供应到第一液体存储室66a中。优选地,容纳在液压缸74中的第一液态单体35a(第二液态单体35b)的量大于基底12表面上的连续成膜操作(稍后对其进行描述)开始到结束要使用的第一液态单体35a(第二液态单体35b)的量。存储箱84借助连通导管82连接到液压缸74。存储箱84具有大于液压缸74的容积并在其中容纳第一液态单体35a。这里,通过打开设置在连通导管82的中间部分上的用于供应第一单体的阀86,存储箱84中的第一液态单体35a被供应到液压缸74。在本实施方式中,存储箱84由气密封的容器构成。惰性气体罐56借助惰性气体供应管48连接到该存储箱84,且单体喷料斗54借助单体供应管46连接到存储箱84。此外,在惰性气体供应管48上设置用于存储箱的气体压力控制阀52,在单体供应管46上设置用于供应第二单体的阀88。相应地,如同上面描述的第一实施方式,允许第一液态单体35a从单体喷料斗54供应到存储箱84,并允许存储箱84填充惰性气体62。另外,在该实施方式中,能够由电动机(未示出)旋转地驱动的供给辊90、卷绕辊92设置在沉积室10中,且其间具有预定距离。由长的膜形成的基底12的卷94设置在供给辊90外面并布置在沉积室10中。基底12的从卷94展开的端部固定到可以从卷绕辊92移除并可随卷绕辊92旋转的卷轴96。旋转地驱动卷绕辊92的电动机通过控制器(未示出)控制。当通过真空沉积聚合在从沉积室10中布置的卷94展开的基底12的表面上连续形成有机聚合物薄膜时,通过使用本实施方式的具有上面结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备,可以例如如下形成膜。具体地,最初,当第一和第二液态单体35a、35b分别以预定量容纳在第一和第二蒸发源容器64a、64b的第一和第二液体存储室66a、66b中时,关闭各个单体供应机构72、72的液压缸74的喷嘴76上设置的打开/关闭阀78。然后,利用来自惰性气体罐56、56的惰性气体填充单体供应机构72、72的存储箱84、84。存储箱84的内部压力被控制为高于大气压力。然后,按照根据第一和第二实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备相同的方式,在沉积室10和第一和第二蒸发源容器64a、64b处于真空状态时,通过加热器70a、70b对第一和第二蒸发源容器64a、64b进行加热,由此使第一和第二蒸发源容器64a、64b的第一和第二液体存储室66a、66b中容纳的第一和第二液态单体35a、35b蒸发。相应地,第一和第二单体蒸汽37a、37b分别容纳在第一和第二蒸汽存储室68a、68b中。当单体蒸汽压力传感器40a、40b检测的值达到预定值时,在控制器(未示出)的控制下,按照根据第一和第二实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备相同的方式打开单体入口侧控制阀28a、28b。相应地,第一和第二蒸汽存储室68a、68b中的第一和第二单体蒸汽37a、37b通过单体入口导管26a、26b引入到混合室23中,并进一步引入到沉积室10中。另外,当单体蒸汽压力传感器40a、40b检测的值达到预定值时,在控制器(未示出)的控制下,操作电动机以旋转地驱动卷绕辊92,由此使卷绕辊92以恒定速度旋转。结果,基底12逐渐从布置在沉积室10中的卷94展开,且展开的基底12通过设置在卷绕辊92上的卷轴96缠绕。然后,引入到混合室23中的第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b在通过两个扩散板24、24扩散后,被引入到沉积室10中。然后,第一单体蒸汽37a和第二单体蒸汽37b被引导到从卷94展开的基底12的表面上并在其上聚合以生成聚合物。因此,通过真空沉积聚合在基底12的表面上形成有机聚合物薄膜。此外,这里,基底12从卷94连续展开,同时第一和第二单体蒸汽37a、37b被连续引入沉积室10。相应地,通过真空沉积聚合,在基底12的表面上连续进行用于形成有机聚合物薄膜的成膜操作。同时,当单体蒸汽压力传感器40a、40b检测的值达到第一和第二液态单体35a、35b蒸发的预定值并开始上面的成膜操作时,与此同时,在控制器(未示出)的控制下,每个单体供应机构72、72的液压缸74的喷嘴76上设置的打开/关闭阀78打开,且液压缸74的活塞杆80开始以恒定速度缩回。相应地,在成膜过程中,第一和第二液态单体35a、35b分别以恒定的量从单体供应机构72、72的液压缸74、74供应至第一和第二蒸发源容器64a、64b的第一和第二液体存储室66a、66b。该操作一直持续到成膜结束。这里,第一和第二液态单体35a、35b的量等于每单位时间第一和第二液体存储室66a、66b中由于蒸发减少的第一和第二液态单体35a、35b的量。第一和第二液态单体35a、35b的量例如可根据初步试验结果或者经验适当地确定。如上面描述的,在本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,从通过真空沉积聚合的成膜开始到其结束,第一和第二液态单体35a、35b分别始终以恒定的量容纳在第一和第二液体存储室66a、66b中。在通过这种连续过程在具有细长形状的基底12的表面上形成有机聚合物薄膜时,当各个单体供应机构72、72的液压缸74、74中的第一和第二液态单体35a、35b的量减少时,通过打开设置在连通导管82上的用于供应第一单体的阀86将存储箱84中的第一和第二液态单体35a、35b供应到各个液压缸74、74中。因此,当通过真空蒸汽沉积工艺连续形成膜时,通过使用本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备,从成膜开始到结束能够始终保持第一和第二液体存储室66a、66b中的第一和第二液态单体35a、35b的量。因此,不需要在连续成膜中进行特殊控制,根据加热器33a、33b的预定加热温度,每单位时间第一和第二液态单体35a、35b的蒸发量始终不变。因此,在本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,在连续成膜时,即使第一和第二液态单体35a、35b例如具有低反应性,第一和第二液态单体35a、35b也均可以以需要的量稳定地引入沉积室10中。因此,可以容易且确定地使基底12表面上的单体比例为化学计量比。进一步,与第一实施方式和第二实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备相似,在该实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,第一和第二蒸发源容器64a、64b的第一和第二蒸汽存储室68a、68b的内部压力最高,其次是单体入口管26a、26b的内部压力,沉积室10的内部压力最低。结果,在成膜操作中,第一和第二单体蒸汽37a、37b可以非常稳定平顺地从第一和第二蒸汽存储室68a、68b引导到沉积室10中。这样,通过使用本实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备可以实现高效的成膜。此外,不论第一单体蒸汽37a、37b的反应性如何,都可在从卷94连续展开的基底12的表面上以良好再现性和稳定性形成始终具有预定成分和恒定厚度的同样质量的有机聚合物薄膜。尽管该第三实施方式包括利用惰性气体62填充存储箱84的机构。然而,可以省略该机构。在这种情况下,存储箱84由例如如图11所示的开放容器构成。然后,单体供应管46和其上设置的用于单体供应的阀88、惰性气体供应管48和其上设置的气体压力控制阀52、存储箱压力传感器58、单体喷料斗54和惰性气体罐56都可省略(见图10)。因此,可以有效地简化单体供应机构72的结构。尽管已经对本发明的具体实施方式进行了详细描述,但仅用于说明的目的,应当理解,本发明不局限于这些说明性实施方式的细节。例如,在第一和第二实施方式中,在第一和第二液态单体35a、35b于反复成膜中蒸发之前,基于第一和第二液体存储室36a、36b和存储箱44、44之间的内部压力差从存储箱44、44抽吸第一和第二液态单体35a、35b并将其自动供应到第一和第二液体存储室36a、36b中。但是,第一和第二液态单体35a、35b也可以通过例如泵的已知致动器从存储箱44、44供应到第一和第二液体存储室36a、36b。替代地,也可以不使用致动器或类似装置,而通过人工作业将第一和第二液态单体35a、35b从存储箱44、44供应到第一和第二液体存储室36a、36b。此外,在第一和第四实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备中,具有细长形状的基底12的卷94布置在沉积室10中,并且在从卷94展开的基底12的表面上连续形成有机聚合物薄膜。但是,替代地,布置在第一和第二实施方式的用于形成有机聚合物薄膜的设备的沉积室10中的具有板形状的多个基底12也可以代替卷94布置以连续进行成膜操作。在以这种方式形成膜时,从一个基底12表面上的成膜操作的开始到结束,第一和第二蒸发源容器64a、64b中始终可以存在恒定量的第一和第二液态单体35a、35b。因此,可以在多个基底12的表面上以良好再现性形成具有预定成分和厚度的有机聚合物薄膜。在第三和第四实施方式中,液压缸74、74分别用来将恒定量的第一液态单体35a和第二液态单体35b供应至第一液体存储室66a和第二液体存储室66b。但是,也可以适当地采用各种已知的供应机构来代替液压缸74。为了使单体从真空沉积聚合的开始到结束始终以恒定量的液态形式存在,可以分别向蒸发源容器64a、64b间歇地供应液态单体35a、35b,来代替第三和第四实施方式中描述的分别向蒸发源容器64a、64b定期地连续地供应液态单体35a、35b。具体地,仅在每个蒸发源容器64a、64b中设置的用于检测蒸发源容器64a、64b中的液态单体35a、35b量的传感器检测到预定值时,才向蒸发源容器64a、64b供应预定量的液态单体35a、35b。在上面的第一至第四实施方式中,使用了两种单体,即第一液态单体35a和第二液态单体35b。但是,可以使用三种或更多的单体。在此情况下,应当在设备中设置与所使用的单体种类数量相同的单体入口管、蒸发源容器和原料供应机构。此外,在上面的第一到第四实施方式中,蒸发源容器32a、32b、64a、64b布置在沉积室10外并通过单体入口管26a、26b连接到沉积室10。但蒸发源容器也可以布置在沉积室中。尽管这里不将描述进一步的细节,但应当理解,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,本发明可以以本领域技术人员能够想到的各种其他变化和变型来实施。实施例为了进一步阐述本发明,现在描述本发明的代表实施例。应当理解,本发明并不局限于举例的实施例和前面描述的细节,而是可以在不脱离本发明范围的情况下,以本领域技术人员可想到的各种改变、修改和改进来具体化。实施例1最初,提供均为预定量的液态形式的两种单体,即1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和亚甲基双(4-环己胺)。此外,提供具有图1所示结构的设备作为用于形成有机聚合物薄膜的设备。具体地,这里使用的用于形成有机聚合物薄膜的设备包括容积为0.10立方米的沉积室、容积为0.01立方米的混合室、以及分别包括容积为150ml的第一和第二蒸汽存储室和容积为100ml的第一和第二液体存储室的第一和第二蒸发源容器。然后,使体积与第一液体存储室相同的100mlxa01,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷容纳在第一液体存储室中,体积与第二液体存储室相同的100ml亚甲基双(4-环己胺)容纳在第二液体存储室中。然后,进行5分钟成膜操作,其中,通过真空沉积聚合在布置于沉积室中的基底的表面上形成脂肪族聚脲膜,在成膜前单体的蒸汽压力被控制在10Pa,成膜过程中单体入口侧压力被控制在5Pa,成膜前沉积室中的压力被控制在2.0×10^-2Pa,成膜过程中沉积室中的压力被控制为8.0×10^-1Pa。在相同条件下反复进行20次(20批)这样的5分钟成膜操作,由此在轮流布置在沉积室中的20个基底的表面上形成脂肪族聚脲膜。此外,在反复成膜操作中,通过单体供应机构将每种单体以与先前成膜中使用的单体量对应的量供应至第一和第二液体存储室中,使得在1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和亚甲基双(4-环己胺)的蒸发操作开始时,每种单体分别以液态形式以100ml的量容纳在第一和第二液体存储室中。然后,对通过进行20次成膜操作在20个基底上形成的脂肪族聚脲膜的厚度、外观和成分比进行检查。结果显示在下面的表1中。脂肪族聚脲膜的厚度通过利用光谱干涉的膜厚度测量系统(可从Oceanxa0Opitcs公司购买的USB2000)进行测量。脂肪族聚脲膜的外观通过视觉进行检查。此外,基于利用FT-IR分光计(可从Thermoxa0Electron公司购买的NEXUS470)的全反射方法测量的结果来计算脂肪族聚脲膜的成分比。这里,表1中的“a∶b”表示“单体a(1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷)∶单体b(亚甲基双(4-环己胺))”。表1只显示了第1批、第5批、第10批、第15批和第20批中形成的脂肪族聚脲膜的厚度、外观和成分比。在重复进行20次的每次成膜操作中,每次都对与成膜(沉积)过程中引入沉积室中的单体量对应的单体入口侧压力随时间的变化进行检查。作为代表性例子,图12中显示了第1批、第5批、第10批、第15批和第20批1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷中单体入口侧压力随时间的变化。<对比实施例1>为了比较,提供液态形式的预定量的1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和亚甲基双(4-环己胺),并提供不包括单体供应机构的用于形成有机聚合物薄膜的传统设备。这里使用的用于形成有机聚合物薄膜的设备包括容积为0.10立方米的沉积室、容积为0.01立方米的混合室、容积分别为250ml的第一和第二蒸发源容器。然后,分别在第一蒸发源容器和第二蒸发源容器中容纳100ml的1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和100ml的亚甲基双(4-环己胺)。之后,进行5分钟成膜操作,其中,通过真空沉积聚合在基底的表面上形成脂肪族聚脲膜,压力如实施例1中的进行控制。在相同条件下反复进行20次(20批)这样的5分钟成膜操作,由此在依次布置在沉积室中的20个基底的表面上形成脂肪族聚脲膜。与实施例1不同,在每次进行成膜操作后并不利用单体再填充第一和第二蒸发源容器。如实施例1那样对通过进行20次成膜操作在20个基底的表面上形成的脂肪族聚脲膜的厚度、外观和成分比进行检查。结果显示在下面的表1中。此外,在重复20次的成膜操作中,每次都对单体入口侧压力随时间的变化进行检查。作为代表性例子,图13中显示了第1批、第5批、第10批、第15批和第20批1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷中单体入口侧压力随时间的变化。<对比实施例2>为了进一步比较,在实施例1和对比实施例1中使用均为预定量的1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和亚甲基双(4-环己胺)作为单体,并提供对比实施例1中使用的用于形成有机聚合物薄膜的设备。然后,分别在第一蒸发源容器和第二蒸发源容器中容纳100ml的1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷和100ml的亚甲基双(4-环己胺)。之后,在布置于沉积室中的基底表面上进行5分钟用于通过真空沉积聚合脂肪族聚脲膜的成膜操作,但并不像实施例1和对比实施例1那样控制压力。在相同条件下反复进行20次(20批)这样的5分钟成膜操作,由此在依次布置在沉积室中的20个基底的表面上形成脂肪族聚脲膜。如同对比实施例1,在每次进行成膜操作后并不利用单体再填充第一和第二蒸发源容器。成膜前单体的蒸汽压力以及沉积室的内部压力与实施例1和对比实施例1中的相同。如实施例1那样对通过20次成膜操作在20个基底的表面上形成的脂肪族聚脲膜的厚度、外观和成分比进行检查。结果显示在下面的表1中。此外,在重复20次的成膜操作中,每次都对单体入口侧压力随时间的变化进行检查。作为代表,图14中显示了第1批、第5批、第10批1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷中单体入口侧压力随时间的变化。此外,图15中显示了第1批、第5批、第10批中形成的脂肪族聚脲膜的红外吸收光谱。图15中,“单体a”表示1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷,“单体b”表示亚甲基双(4-环己胺)。表1ntent="drawing" img-format="tif" inline="no" orientation="portrait" wi="700"/>ntent="drawing" img-format="tif" inline="no" orientation="portrait" wi="700"/>如图12所示,在实施例1中,通过具有根据本发明的结构的用于形成有机聚合物薄膜的设备反复进行成膜操作,其中,从第1批到第20批,单体入口侧压力保持在恒定值。这清楚显示了,不论进行多少次成膜操作,在一次成膜操作中引入沉积室中的单体量可保持在恒定值。此外,如从表1清楚可知,在实施例1中,从第1批到第20批,基底表面上形成的所有脂肪族聚脲膜都不仅具有良好的外观,而且还具有30μm的恒定厚度。另外,没有发现成分比有所变化。从这些结果可以清楚地确定,通过利用根据本发明的用于形成有机聚合物薄膜的设备根据本发明的方法反复进行成膜操作,可以在基底的表面上以良好再现性稳定地形成具有良好品质和恒定厚度的有机聚合物薄膜。与此相比,如从图13和14清楚可见,在使用传统设备通过传统方法反复进行成膜操作的对比实施例1和2中,随着成膜操作次数的增加,成膜过程中单体入口侧压力随时间的变化逐渐增大。这表明在一次成膜操作中引入沉积室中的单体量的改变越来越大。此外,如从表1可清楚看到的,在使用传统设备通过传统方法反复进行成膜操作的对比实施例1和2中,不仅脂肪族聚脲膜的外观变差了,而且脂肪族聚脲膜的厚度逐渐减小,且随着成膜操作反复次数的增加,脂肪族聚脲膜的成分比也变化很大。另外,如图15所示,在对比实施例2中,随着成膜操作反复次数的增加,确定脂肪族聚脲膜变为富含1,3-二(异氰酸酯基甲基)环己烷(单体a)。从这些结果可以清楚地认识到,当使用传统设备通过传统方法反复进行成膜操作时,在多个基底的表面上形成的有机聚合物薄膜不具有再现性。